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Edwards STP1003 是新型的渦輪分子泵，可用于良好的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。英國(guó)愛(ài)德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

愛(ài)德華T-Station 85分子渦輪真空泵維修站將 nEXT85H 渦輪泵與干泵或油封泵 以及簡(jiǎn)易控制器無(wú)縫結(jié)合，可實(shí)現(xiàn) 47 l/s – 84 l/s 的抽取速度。

Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)性能，大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP301 STP603

STP-XA3203C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能，并提高所有氣體的吞吐量。 此泵基于新的平臺(tái)設(shè)計(jì)，提供各種功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

STP-XA2703C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能，并提高所有氣體的吞吐量。 此泵基于新的平臺(tái)設(shè)計(jì)，提供各種功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修